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THEME 02. では、ニーズの高まるエッチング装置市場に対して、TELはどのような戦略で挑んでいるのだろうか。. 「競合と同じ製品をつくるのは、TELの遺伝子にはありません」と、上打田内は断言する。. 「性能で差別化をして、コストをかけても必要だと思っ ... この記事では、エッチング装置の選び方から主要メーカと製品を紹介します。また導入のメリット・デメリットやエッチング装置を用いて生産性を上げるポイントも解説します。 Tactras-UDEMAEは、200mmウェーハ市場で業界最大の納入実績を誇る当社のパワーデバイス製造向けプラズマリアクター（*）を、300mmウェーハ向けに拡張 ... 東京エレクトロン、第8世代FPD向けに新プラズマエッチング装置を発表. 東京エレクトロンは2021年12月8日、第8世代基板のフラットパネルディスプレイ (FPD）向けに新チャンバーPICP Proを搭載した「Impressio 2400 PICP Pro」の販売開始を発表した。. 同装置は第6世代 ... ai（人工知能）向けに需要が広がるnandフラッシュメモリーで、「極低温エッチング装置」という新たな製造装置の開発競争が過熱している。対象を氷点下に冷やすことで、一度に深い穴を開けられる。 Certas LEAGA™は300mmウェーハに対応し、洗浄液を使用せずに表面エッチング、クリーニングをおこなうことのできる、環境に優しいハイスループット型ガスケミカルエッチング装置です。. 完全にドライ化されたプロセスユニットは、ウォーターマークレス ... fpdプラズマエッチング装置は、真空チャンバー内でプラズマ状態となったガスを用い、ガラス基板上に成膜された各種薄膜を削り取ることで回路パターンを形成します。東京エレクトロン (TEL)は2021年3月10日、第6世代 (1500×1850mm)ガラス基板対応プラズマエッチング装置の新製品として、高精細プロセス向け新チャンバPICP Proを搭載した「Impressio 1800 PICP Pro」（プロセスチャンバ最大3基搭載可能）および「Betelex 1800 PICP Pro」 (最大5 ... 東京エレクトロン (tel、東京都港区、社長：河合利樹)のプラズマエッチング装置の開発・製造拠点である東京エレクトロン宮城の開発チームは、積層化が進む3d nandにおいて、400層を超える積層構造にメモリチャネルホールを形成する、新しいエッチング技術 ...

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