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東京エレクトロンは、300mmウエハー対応のセミバッチ式ALD（atomic layer deposition：原子層堆積）成膜装置「NT333」を、2012年10月に発売する。 ALDとは、原子層堆積：Atomic Layer Depositionの略です。文字通り原子1層分の厚さのオーダーで繰り返し成膜を行うため、均一性に優れた成膜を行うことが可能です。本研究会では、東京エレクトロン（tel）の守屋剛氏が、『インテリジェント制御による半導体製造装置のイノベーション』と題するチュートリアル講演を行い、aldのプロセス開発に、深層学習（ディープラーニング）を含む「機械学習」を適用した事例を ... 東京エレクトロン(tel)がスポンサーを務めるald/ale 2024が、8/4-7にフィンランドのヘルシンキで開催されます。このカンファレンスでは、半導体デバイスの微細化に重要な技術である、原子層堆積法(ALD)と原子層エッチング法(ALE)に関する最新の研究発表が ... 半導体デバイスの微細化に重要な技術である、原子層堆積法 (ALD)と原子層エッチング法 (ALE)に関する最新の研究発表がおこなわれます。. 東京エレクトロン (TEL)および共同研究者からは招待講演1件を含む4件の報告を予定しています。. ぜひご参加ください！. 東京エレクトロン(TEL)は、300mmプロセス対応ALD(Atomic Layer Deposition)成膜装置「NT333」を製品化し、2012年10月より受注を開始すること発表した。 ALD（Atomic Layer Deposition)は原子層堆積法と呼ばれ、単原子層を1層ずつ堆積するサイクルを繰り返すことで薄膜を形成する成膜技術です。 MEMSをはじめとする高アスペクト比の3次元構造に対しても回り込み良く、ピンホールのない均一なナノ薄膜が形成可能です。日本の装置メーカーによるaldの取り組みは、東京エレクトロンさん、日立国際さんやasmさんの開発部隊の方のような世界的なプレーヤーが牽引してきましたが、先端半導体のような情報は表に出てこないため、見えづらいものがあったかと思います。 レジストマスク工程にALD によるCD 制御技術を適用 し，新たなプロセスフローを構築した。ALDプロセスでは，原材料となるSi Precursor の吸着とO 2 プラズマによる酸化を繰り返すことで，SiO 2 の成膜を試みる。 ALDによる成膜過程は自己律速型（Self-limited）反応

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