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IBM Researchと東京エレクトロンは、3Dチップ積層技術によってウェハー生産のサプライ・チェーンおよびプロセスを簡素化するチップ製造イノベーションを目指し、パートナーシップを締結。画期的な技術を発表しました。半導体の技術開発の最先端では、多くの関連企業が複数のチップを積み重ねて性能を高める「3次元（3D）技術」への関心が強まっている。. 生産にはこれまで以上の精密さが求められ、そこはまさに日本勢の出番である。. 今回はこの半導体「3次元技術」で ... 半導体がより小さく、また多様化、複雑化する中で、技術革新の要となるのは繰り返しおこなわれるパターニング工程。. 東京エレクトロンは、パターニングの4連続工程に装置をもつ唯一の会社です。. 重要な役割を担う基幹工程の一つが成膜です ... 高精細・高精度な3次元計測を実現、屋外でのTOF方式3次元計測システム開発を容易にする高耐光性3D TOFカメラ開発キットを販売開始. 東京 ... 産総研では、NEDO「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発」の「先端半導体の前工程技術（More Moore技術）の開発」において、東京エレクトロン(株)、(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ、キヤノン(株)の3社との ... 東京エレクトロン(TEL)は、3次元積層技術の実用化の加速を目指し、TSV(Through Silicon Via:シリコン貫通電極)用シリコン深堀エッチング、ポリイミド ... 東京エレクトロンは半導体を垂直方向に集積する3次元（3D）実装向けに、接合した2枚のシリコンウエハーに対し、上部のウエハーと集積回路をレーザーで剥離する技術を確立した。2024年にもレーザーによる剥離装置を市場投入する。本日、当社は、東京エレクトロン株式会社（以下、東京エレクトロン）と共同で、世界で初めて300mmシリコン・ウェハーの新しい3次元積層技術の ... 東京エレクトロン(tel、東京都港区、社長：河合利樹)の開発・製造拠点である東京エレクトロン九州の開発チームは、ウェーハ永久接合を使った最先端デバイス3次元実装の技術革新に貢献するレーザ剥離技術を開発しました。

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