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東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹)は、300mmウェーハ製造プロセス向けウェーハ薄化装置Ulucus™ Gの販売を開始することをお知らせします。. 半導体デバイス製造における先端パターニングにおいては、母材となるシリコンウェーハへの平坦 ... 発表者：東京エレクトロン、タイトル：「300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus(TM) L販売開始のお知らせ」、本文：「 Notification 2022.06.08 300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus(TM) L販売開始のお知らせ 東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長 ... 東京エレクトロン(TEL)は、300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus™ Lの販売を開始することをお知らせします。当社の塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro™ Zに高度なレーザ制御ユニットを融合させることにより... 東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長:河合利樹)は、300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus (TM) Lの販売を開始する ... 東京エレクトロン、洗浄技術を組み合わせたウエハ研削装置を新たに開発. 東京エレクトロンは12月11日、300mmウエハ製造プロセス向けのウエハ薄化装置「Ulucus G」の販売を開始したと発表した。. 同装置は、シリコンウエハへの平坦化要求と、シリコンウエハ ... ウェーハ薄化 Ulucus™ Gシリーズ. Ulucus™ Gシリーズは、高いシェアと多数の量産実績のある当社の塗布現像装置のプラットフォーム技術に、洗浄技術とさまざまな先端テクノロジーを融合した半導体製造装置です。. 半導体デバイス製造における先端 ... 東京エレクトロン（TEL）は、300ミリメートルウエハー接合デバイス向けレーザーエッジトリミング装置Ulucus Lの販売を開始する。同機は高度なレーザー制御ユニットを、同社の塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro Zに融合させて開発した。前工程で実現できるような ... 東京エレクトロンは2022年6月8日、300mmウエハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置「Ulucus L」を発売した。「Ulucus L」は、コータ／デベロッパとして実績のある「LITHIUS Pro Z」に、高度なレーザ制御ユニットを融合させた装置。 #東京エレクトロン ( #TEL)は、300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus™ Lの販売を開始します。TELはこれからもお客さまのニーズに貢献する技術ソリューションの提供に努めてまいります。

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