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東京エレクトロンは12月11日、300mmウエハ製造プロセス向けのウエハ薄化装置「Ulucus G」の販売を開始したと発表した。. 同装置は、シリコンウエハへの平坦化要求と、シリコンウエハ製造工程における人手不足を背景とした装置内での連続工程化と自動化の ... 東京エレクトロンは2022年6月8日、300mmウエハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置「Ulucus L」を発売した。「Ulucus L」は、コータ／デベロッパとして実績のある「LITHIUS Pro Z」に、高度なレーザ制御ユニットを融合させた装置。 東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹)は、300mmウェーハ製造プロセス向けウェーハ薄化装置Ulucus™ Gの販売を開始することをお知らせします。. 半導体デバイス製造における先端パターニングにおいては、母材となるシリコンウェーハへの平坦 ... 東京エレクトロン（TEL）は、300ミリメートルウエハー接合デバイス向けレーザーエッジトリミング装置Ulucus Lの販売を開始する。同機は高度なレーザー制御ユニットを、同社の塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro Zに融合させて ... レーザ制御技術を用いたUlucus Lは生産性向上に貢献するだけではなく環境負荷低減への革新的なエコソリューションです。 #東京エレクトロン ( #TEL)は、300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus™ Lの販売を開始します。TELはこれからもお客さまのニーズに貢献する技術ソリューションの提供に努めてまいります。 東京エレクトロン (TEL)は、300mmウェーハ接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus™ Lの販売を開始することをお知らせします。. 当社の塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro™ Zに高度なレーザ制御ユニットを融合させる ... Ulucus™ Gは、当社が独自に開発した研削加工ユニットを、塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro™ Zに融合させ、シリコンウェーハの高品質化と量産における省人化を同時に実現するウェーハ薄化装置です。 Ulucus Lは、高度なレーザ制御ユニットを当社の塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro(TM) Zに融合させて開発したレーザエッジトリミング装置です。これにより、前工程で実現できるようなスーパークリーン技術と、高」

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