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コータデベロッパ（塗布・現像）やエッチングなど、前工程の半導体製造装置でトップシェアを誇る東京エレクトロン。同社は近年、複数の後工程で新装置を市場投入している。 Tactras-UDEMAEは、200mmウェーハ市場で業界最大の納入実績を誇る当社のパワーデバイス製造向けプラズマリアクター（*）を、300mmウェーハ向けに拡張 ... 東京エレクトロンの公式サイト。半導体製造装置、ディスプレイ製造装置などを開発、製造、販売。企業情報、社会・環境活動情報、IR情報、製品情報、ニュースなどを紹介しています。また日本における総代理店東京エレクトロンデバイス（株）の技術サポートを受けることが可能となり、介護施設向け見守りサービスの開発を2022年4月から進めて開始致しました。 東京エレクトロンは、3次元構造のメモリやトランジスタ向けにプラズマエッチング装置「Tactras Vigus」「Tactras RLSA」を紹介した。同社によれば、これらの特長は「高選択比」だという。インタビューに答える東京エレクトロンデバイスの徳重社長（横浜市で）「コロナ禍で需給が逼迫（ひっぱく）し、製品が足りなくなった。 TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vesta NV3は、性能、使い勝手、低コストを兼ね備えた先進的な半導体加工と集積回路生産に最適です。優れたエッチング、アッシング、および作業領域全体の均一性により、業界で最も要求の厳しいニーズを確実に満たします。半導体がより小さく、また多様化、複雑化する中で、技術革新の要となるのは繰り返しおこなわれるパターニング工程。. 東京エレクトロンは、パターニングの4連続工程に装置をもつ唯一の会社です。. 重要な役割を担う基幹工程の一つが成膜です ... Tech総研『最新技術』カテゴリの『東京エレクトロンが挑む！最先端エッチング装置開発』。微細化・高集積化の進む半導体デバイス。製造装置の業界では、たえず技術革新が繰り広げられ、新しいコンセプトを持つ製品が生み出されて…

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