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UltraTrimmer PlusおよびAcreviaは、東京エレクトロングループの日本およびその他の国における登録商標または商標です。戻る製品・サービス 東京エレクトロンは2024年7月8日、極微細パターニング工程向けガスクラスタビーム（GCB）装置「Acrevia」の販売開始を発表した。難度が高まる最先端のパターニングにおいて、さらなる微細化と生産性の向上に貢献する。 東京エレクトロンは、パターニングの4連続工程に装置をもつ唯一の会社です。. 半導体製造プロセス. から探す. すべての製品. から探す. 300mm/200mmウェーハ対応塗布現像装置。. 次世代パッケージングおよびSpin-on Hard Maskプロセス向けに最適化した ... 東京エレクトロンは、パターニング工程向けガスクラスタビーム装置「Acrevia」の販売を開始した。難度が高まる最先端のパターニングにおいて、さらなる微細化と生産性の向上に貢献する。 東京エレクトロン(TEL)は7月8日、EUV露光による極微細なパターニング工程において、ガスクラスタービーム(GCB)により線幅の加工と形状の補正を ... 東京エレクトロンは極端紫外線（EUV）露光装置により回路のパターン形成を補正するガスクラスタービーム装置「Acrevia」の販売を始めた。EUV露光 ... 東京エレクトロン（TEL）は，EUV露光による極微細パターニング工程向けガスクラスタービーム装置「Acrevia 」を発売すると発表した（ニュースリリース）。. この装置は，EUV露光による極微細なパターニング工程において，ガスクラスタービーム（GCB）により ... 東京エレクトロン(TEL)は7月8日、EUV露光による極微細なパターニング工程において、ガス分子を結合しクラスター化することで、高いエネルギーをもちながら表面のダメージを抑えて処理する技術であるガスクラスタービーム(GCB)により線幅の加工と形状の補正を行う装置「Acrevia」を発売すると ... 東京エレクトロンは極端紫外線（EUV）露光装置により回路のパターン形成を補正するガスクラスタービーム装置「Acrevia＝写真」の販売を始めた。EUV露光とその後のエッチング処理後に同装置を用いてビームを照射することで、線幅の加工と形状の補正を行う。

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