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Tactras-UDEMAEは、200mmウェーハ市場で業界最大の納入実績を誇る当社のパワーデバイス製造向けプラズマリアクター（*）を、300mmウェーハ向けに拡張 ... TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigusは、半導体と回路基板用に設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は高精度で、革新的なDeep Reactive Ion Etch （DRIE）技術により、さまざまな回路設計を作成するようにプログラムすることができます。 Tech総研『最新技術』カテゴリの『東京エレクトロンが挑む！最先端エッチング装置開発』。微細化・高集積化の進む半導体デバイス。製造装置の業界では、たえず技術革新が繰り広げられ、新しいコンセプトを持つ製品が生み出されて… 五つ星はプラス2、星ゼロはマイナス2を意味しています。. 五つ星の下にある矢印は、直近1カ月以内に星の増減があったがどうかを示しています。. アナリストは業績成長を予想しているからといって、必ずしも「買い」の投資判断（レーティング）をつける ... 東京エレクトロン（TEL）は，第6世代（1500×1850mm）ガラス基板対応プラズマエッチング装置に関し，高精細プロセス向け新チャンバー「PICP Pro」を搭載した「Impressio 1800 PICP Pro」および「Betelex 1800 PICP Pro」を発売する（ニュースリリース）。半導体製造装置大手の東京エレクトロンはウエハーを処理する反応室「チャンバー」の数を4～12個まで自由に変更できるエッチング装置を発売 ... Certas LEAGA™は300mmウェーハに対応し、洗浄液を使用せずに表面エッチング、クリーニングをおこなうことのできる、環境に優しいハイスループット型ガスケミカルエッチング装置です。. 完全にドライ化されたプロセスユニットは、ウォーターマークレス ... 東京エレクトロンは、3次元構造のメモリやトランジスタ向けにプラズマエッチング装置「Tactras Vigus」「Tactras RLSA」を紹介した。同社によれば、これらの特長は「高選択比」だという。 東京エレクトロン (TEL、東京都港区、社長：河合利樹) は、300mmパワーデバイス向けエッチング装置Tactras™-UDEMAE™の販売を開始することをお知らせします。. Tactras-UDEMAEは、200mmウェーハ市場で業界最大の納入実績を誇る当社のパワーデバイス製造向け ...

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